NENOVISION – LiteScope TM

Microscope SPM In-Situ MEB offrant une technique unique de sonde corrélative et de microscopie électronique.

LiteScope ™ est un microscope à sonde locale (SPM) unique. Il est conçu pour une intégration facile dans la majorité des microscopes électroniques à balayage (MEB).
La combinaison des techniques complémentaires SPM et MEB permet d’utiliser les avantages des deux techniques simultanément.

L’analyse complexe des échantillons, y compris la caractérisation de la topographie de surface, les propriétés mécaniques, les propriétés électriques, la composition chimique, les propriétés magnétiques et autres, peut être facilement analysée à l’aide de LiteScope™ et de sa gamme de sondes remplaçables.
La conception LiteScope™ lui permet également d’être combiné avec d’autres techniques MEB tels qu’un faisceau d’ions focalisé (FIB) ou un système d’injection de gaz (GIS) pour la fabrication de nano / microstructures et de modifications de surface. Avec cette combinaison, LiteScope ™ offre une inspection 3D rapide et facile des structures fabriquées.
En outre, LiteScope ™ ouvre un tout nouveau domaine de nouvelles techniques de mesure qui permettent la microscopie corrélative, appelée sonde corrélative et microscopie électronique (CPEM).
La technologie CPEM est unique. Le LiteScope permet d’analyser des mesures SPM et MEB au même endroit, en même temps, et en utilisant le même système de coordination. Seule la technologie CPEM vous apporte tous les avantages de l’imagerie corrélative des techniques SPM et MEB.

Sonde Correlative et Microscopie Electronique– CPEM

LiteScope ™ est une puissante amélioration du fonctionnement des instruments MEB existants. Cependant, il y a plus que cela.
La microscopie corrélative rassemble les avantages de l’imagerie du même objet en utilisant deux techniques différentes. La corrélation des données et des images fournit des informations plus détaillées sur l’échantillon, qui autrement serait trop compliqué à analyser.
NenoVision a développé une technologie unique – Sonde corrélative et microscopie électronique (brevet en cours) – pour une application en imagerie corrélative.

Le CPEM permet la détermination de la caractérisation de la surface d’une zone d’échantillon par MEB et SPM simultanément et en utilisant le même système de coordination.
La technologie CPEM permet une imagerie corrélative des méthodes d’imagerie MEB et SPM standard de manière unique.
CPEM synchronise la zone numérisée, la résolution et la distorsion d’image et met en corrélation les images SPM et MEB acquises en temps réel.
Un balayage simultané avec un décalage constant connu et une résolution identique garantit une l’analyse effectuée sur la même surface. L’image résultante peut être directement visualisée en ligne à l’aide de notre logiciel NenoView.

Logiciel NenoView

Le logiciel NenoView est facile à utiliser et vous donne un contrôle total de la configuration de mesure, de l’acquisition et du traitement des données. NenoView enregistre automatiquement la configuration de mesure avec les données. Cette fonction est très utile pour les analyses ultérieures.

Unité de Contrôle

Tous les composants électroniques qui pilotent LiteScope ™ sont intégrés dans une unité de contrôle.
Ce contrôleur est un montage en bâti standard de 19 pouces qui peut facilement être placé dans un rack de l’électronique du MEB ou positionné librement en fonction de vos besoins réels.

Intégration SEM


LiteScope ™ est spécialement conçu pour être intégré dans les microscopes MEB sur une base «Plug & Play». Il est simplement fixé à la platine motorisée du microscope électronique par quatre vis. Les câbles électriques sont branchés sur la traversée de paroi appropriée.
LiteScope ™ peut être monté ou retiré en moins de 5 minutes. Il est pleinement compatible avec la majorité des MEB des différents fabricants. Nous fournissons les adaptateurs et les connexions d’interface appropriés, qui peuvent également être ajustés en fonction des besoins du client.

Points forts

  • LiteScope ™ améliore les performances du MEB,
  • Disponible en tant que plug-in pour les microscopes existants ou dans une nouvelle configuration de MEB,
  • Sonde corrélative unique et technologie MEB simultanément (CPEM),
  • Caractérisation de surface complexe- topographie, rugosité, propriétés magnétiques, conductivité, propriétés électriques,
  • Sondes auto détectantes sans détection optique, pas de réglage laser,
  • LiteScope ™ est facile à monter et à retirer de la platine motorisée du MEB,


  • Compatible avec les techniques FIB, GIS, EDX et autres accessoires,
  • Fonctionne en position inclinée (angle 0 ° –60 °), WD min. 5 mm,
  • La tête de mesure rétractable libère de l’espace autour de l’échantillon pour
    une utilisation du MEB sans retirer le LiteScope,
  • Sondes disponibles dans le commerce, large gamme de modes de mesure,
  • Remplacement simple et rapide des sondes et des échantillons,
  • Logiciel intuitif, fonctionnement sous un navigateur Web, accès à distance
    facile,
  • LiteScope ™ fonctionne également comme un SPM autonome.
  • Application

    LiteScope™ a de nombreuses applications allant de la recherche académique à l’analyse des défaillances dans l’industrie. Les principales applications sont liées à l’analyse, en particulier lorsque le MEB conventionnel ne fournit pas suffisamment d’informations et qu’une imagerie 3D supplémentaire est nécessaire à l’aide d’un SPM. La disponibilité d’autres modes d’imagerie complémentaires élargit encore le champ d’application.
    La technologie CPEM unique, avec son imagerie corrélative, peut être appliquée à des champs d’applications très exigeants où l’imagerie utilisant un MEB conventionnel peut fournir des informations trompeuses en raison de la contamination de surface liée au contraste chimique qui interfère avec la topographie de la surface. La technique CPEM est la solution idéale pour l’analyse précise et l’interprétation des images en temps réel.
    La recherche fondamentale dans le domaine de la science des matériaux et des nanotechnologies nécessite une analyse détaillée et complète des surfaces et des nanostructures à l’aide de différentes méthodes analytiques. Ceci est basé sur la nécessité de bien comprendre les principes de la gamme nanométrique. LiteScope™ est l’outil idéal pour ces applications scientifiques.
    L’avantage immédiat est évident pour les technologies telles que la FIB et GIS où les structures sont formées directement dans le MEB. L’outil d’analyse 3D des structures nouvellement créées est essentiel.
    De plus, LiteScope™, équipé de CPEM et d’autres modes d’imagerie, permet l’analyse complexe des structures préparées et des nano-dispositifs.

    Nanofils d’Arséniure de Gallium MEB + AFM

    Dans les laboratoires de contrôle qualité industrielle et de R&D, LiteScope™ aide à identifier les structures de surface, la topographie, la rugosité de surface, la contamination, etc.
    Ces capacités sont très prisées par les clients industriels qui ont besoin de vérifier la qualité d’une surface et donc d’économiser sur les pertes dues à une défaillance.

    LiteScope™ peut être appliqué à un large éventail d’industries, y compris celles dans les domaines de semi-conducteurs, cellules solaires, dispositifs de mémoire, MEMS et NEMS. Ces domaines nécessitent une analyse à l’échelle nanométrique plus que tout autre. De nos jours, les exigences en matière d’analyse complexe de nano-circuits et de nanodispositifs explosent. Le LiteScope™ répond à ces exigences en étendant l’imagerie 3D et la multi-caractérisation des échantillons en temps réel.

    Analysis of 2D materials by AFM-in-SEM LiteScope

    Load-lock mechanism for AFM-in-SEM LiteScope

    NenoVision Webinar Series: Measuring tutorial with LiteScope

    NenoVision Webinar Series: Advantages of combining AFM with FIB-SEM systems

    NenoVision Webinar Series: Applications for 2D materials


    NenoVision Webinar Series: CPEM technology – next step in correlative imaging

    NenoVision Webinar Series: LiteScope overview – Merge the forces of AFM and SEM

    04/02/2021 Webinar Correlative microscopy AFM in SEM

    Spécifications techniques

    LiteScope™ est un SPM pleinement opérationnel, qui permet à ses utilisateurs d’acquérir des caractéristiques d’un échantillon à l’échelle nanométrique. Il peut être utilisé comme un microscope autonome ou en combinaison avec un faisceau d’électrons, ce qui en fait sa force.
    LiteScope™ fonctionne généralement dans un vide poussé, mais peut, sur demande, être adapté pour une utilisation dans des vides ultra-poussés. Il est fixé à la platine motorisée du MEB/ FIB, ce qui permet une manipulation polyvalente suivant les préférences de l’utilisateur. LiteScope ™ s’adapte à des positions inclinées, pour une utilisation simultanée avec la technique FIB.
    Dans de tels cas, l’utilisateur appréciera l’option « d’amarrage », grâce à laquelle toute la sonde SPM peut être rétractée et cachée dans le corps du LiteScope ™ en mode « parking ». La conception mécanique respecte toutes les exigences de construction essentielles en termes de rigidité et de fréquence de résonance appropriée. Le résultat est un cadre très stable avec de très faibles niveaux de vibrations mécaniques, qui produit des résultats extrêmement fiables.

    Points forts du design

  • Sa discrétion et sa petite taille permettent l’intégration dans les microscopes MEB / FIB,
  • Procédure d’intégration facile – montage sur le manipulateur MEB / FIB,
  • Support de sonde universel adapté à plusieurs méthodes SPM et montage facile «Plug & Play»,
  • Inclinaison de l’échantillon jusqu’à 60 °
  • Conception mécanique optimisée avec de très faibles niveaux de vibrations (rigidité et fréquence de résonance appropriée), préamplificateur intégré (pour éliminer au maximum la distorsion / bruit du signal).
  • Données LiteScope™

    Nenocase


    NenoCase est un accessoire de conditionnement pour les microscopes à force atomique LiteScope™

    NenoCase est un support de rangement et de positionnement permettant au LiteScope de fonctionner tel un appareil autonome. Il intègre un système anti-vibration passif pour assurer une imagerie de haute qualité à l’extérieur des chambres MEB.
    Il peut être purgé avec divers gaz utilisés pour les environnements de mesure dans différentes atmosphères.

    Principales caractéristiques de NenoCase

  • Stockage de LiteScope sous vide ou dans un environnement sec pour éliminer l’adsorption d’eau indésirable hors du MEB.
  • Fonctionnement complet du LiteScope en dehors du MEB sous vide ou dans diverses atmosphères.
  • Équipé d’un système anti-vibration passif.
  • Possibilité d’utiliser une atmosphère contrôlée, telle que l’azote ou l’argon.
  • Niveau de plate-forme réglable en hauteur.
  • La conception transparente du couvercle supérieur permet l’utilisation d’un microscope optique ou d’un stéréo microscope pour trouver des structures ou pour guider la pointe.
  • Conception

    NenoCase dispose d’une plate-forme compacte en alliage d’aluminium avec des traversées appropriées pour la connexion de LiteScope à l’électronique de commande. Sa base intègre quatre composants séparés assurant à la fois une isolation verticale et horizontale des vibrations. Des matériaux légers sont utilisés. La conception transparente du couvercle permet l’utilisation de microscopes optiques et stéréo lorsque le couvercle est rabattu. Il est possible d’ajouter des traversées de parois personnalisées.

    Spécifications du microscope numérique

    – Résolution 1.3 megapixels (1280×1024 pixels)
    – Grossissement jusqu’à x 90
    – Fréquence d’images jusqu’à 30 fps(15 fps à 1.3 M)
    – Illumination intérieure par 8 LED blanches
    – Filtre de coupure infrarouge > 650 nm