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Plateforme pour solution MEB
| Nombre de robots | 4 (PN14-4B-V) ou 2 (PN14-2B-V) |
| Dimensions & poids | Hauteur: 37.1 mm * Diamètre(sans les câbles): 100 mm (4”) Poids: * Pour une station de 4 Nanorobots avec câblage coaxial. Les dimensions et géométrie peuvent être modifiées à façon suivant l’application du client ou la configuration du MEB. |
| Taille d’échantillons et support | Optimisé pour des échantillons ayant une surface approximative de 80 mm2 (c’est à dire ayant un diamètre circulaire de Ø 25.4 mm (ou 1 inch). Compatible avec une grande variété de support MEB. |
| Compatibilité MEB | Compatible avec les chambres de la majorité des grands fabricants de MEB, à savoir FEI, Hitachi, JEOL, Tescan, Zeiss… |
| Interface utilisateur | PC portable (Microsoft® Windows) avec logiciel dédié et pad de contrôle. |
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Nano-prober (miBotTM VP)
| Degrés de liberté | 4 axes commandables indépendamment (X, Y,R,Z) par Robot |
| Gamme de déplacement | Mode pas à pas (X,Y,R,Z):20 x 20 mm2, ± 180°, 42° Mode balayage(X,Y,Z): 440 x 250 x 780 nm3 |
| Résolution de positionnement max | Mode pas à pas : 50 nm (X, Y), 120 nm (Z) Mode balayage: 1.5 nm (X, Y), 3.5 nm (Z) |
| Type de connection | 4 connecteurs (CAMAC) ou tri-axial* (BNC)avec ses câblages souples, traverses de chambre et bride d’adaptation. * avec cablâge triaxial en option |
| Pointe de mesure | Compatible avec une large gamme de pointes (diamètre de 0.51 mm/0.020”) et des rayons variables (5 nm – 10 um). |
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