Evaporateur rapide, propre, sous vide secondaire, dédiée à la haute résolution ou aux dépôts fins et homogènes. Opération simple et automatisé pour l’évaporation ou la pulvérisation cathodique.
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Sûr, fiable et facile à entretenir, le Vacu Prep II peut être utilisé pour l’évaporation de carbone en routine ou la pulvérisation de divers métaux précieux (or, argent, platine, or/palladium). L’écran tactile intuitif de la dalle tactile en face avant permet de contrôler tous les paramètres du système. L’écran propose un diagramme de l’équipement qui vous livre en temps réels les étapes de votre process sans avoir à vérifier les états d’ouverture ou de fermeture des vannes du système.
Le Vacu Prep II est équipé d’une turbopompe permettant d’obtenir des vides poussés (10-7 mbar) dans une grande cloche (31 cm) garantissant des dépositions de revêtements ultrafins ou en volume pour les applications scientifiques ou industrielles (détection de l’amiante).
Les séquences peuvent être programmées manuellement ou suivant des cycles automatiques proposés en standard.[/text_output]
Applications
- Préparation d’échantillons pour la microscopie électronique
- Revêtement carbone vide poussé pour la micro-analyse MEB ou MET
- Evaporation résistante de composés métalliques (vide poussé à 10-7 mbar)
- Films de support carbone
- Réplique Carbone/Platine
- Analyse de l’amiante
- Technique d’ombrage rotatif
- Analyse de défaillance en mode MEB sur des matériaux
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La grande cloche (31 cm de diamètre pour 45 cm de hauteur) offre un espace permettant l’évaporation et la pulvérisation d’une grande quantité de matériaux, de grilles ou d’éléments massifs. Un bras guidé aide l’utilisateur à soulever et à rabaisser la cloche sans contrainte physique.[/text_output][text_output]
Cycles courts de pompage
Une turbo pompe moléculaire fonctionnant à un débit de 60 litres/seconde est au cœur du système. Elle permet d’atteindre un excellent niveau de vide dans un court laps de temps. Des niveaux de pompage classiques de l’ordre de 10-5 mBar sont atteints en moins de 10 minutes pour les applications de revêtement carbone sur grilles pour application MET. L’utilisation d’un piège à froid LN2 augmente la vitesse de la pompe à vide.
Système de pompage rapide
L’écran tactile pilote l’ensemble du système et fournit des informations sur les programmations disponibles manuelles, semi-automatiques et sur les besoins en maintenance.
Les étapes d’évaporation sont décrites en temps réels avec un protocole sécurisé afin d’éviter aux utilisateurs de faire des erreurs dommageables pour l’équipement pouvant amener des frais coûteux.[/text_output]
Le Vacu Prep II est livré avec les caractéristiques suivantes
| Turbo pompe moléculaire de 60 litres / minute |
| Dalle tactile de commande en face avant |
| Vannes pour vide secondaire à commande pneumatique |
| Plaque de support échantillons en acier inoxydable |
| Ensemble cloche avec un bras guidé pour soulever et abaisser la cloche sans difficulté |
| Dimension de la cloche : 31 cm de diamètre par 48 cm de hauteur |
| Alimentation d’évaporation avec l’obturation |
| Kit de montage type « tête de Bradley »pour évaporation avec « crayons carbones à taille cylindrique » |
| Support de filament |
| Plateforme rotative inclinable à mouvement planétaire pour un dépôt fin et régulier sur le relief de l’échantillon |
| Contrôleur d’épaisseur à microbalance à quartz (option). |
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Informations nécessaires à l’installation
| Taille | 78.7 cm (L) x 71.1 cm (l) x 76.2 cm (h) |
| Poids | 110 Kg |
| Pression en air (pour l’alimentation des valves pneumatiques) | 80 psig |
| Pression en azote (optionnel pour la ventilation) | 5 à 10 psig |
| Puissance électrique | 220 Volts/60Hz |
[/text_output][text_output]Une pompe primaire est nécessaire pour amorcer la turbo pompe intégrée dans le bâti de dépôt. Elle doit posséder une capacité de pompage de 85 L/min.
Nous suggérons une pompe sèche à spirale Edwards réf nxDS6i ou Oerlikon Leybold SC 15 D pour un vide très propre (sans huile).
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