Chambre de nettoyage SoftCleanTM Evactron®

Système de décontamination.

La chambre de nettoyage Soft Clean Evactron permet un pré-nettoyage des échantillons ou des montures dont on suspecte qu’ils possèdent un fort niveau de contamination avant de les introduire au sein de la chambre de votre microscope.

L’ensemble consiste en un système de décontamination Evactron avec la chambre SoftClean, une pompe appropriée et la source PRS (Plasma Radical Source) utilisée sur plus de 1000 équipements à travers le monde.

Au lieu d’utiliser un système de nettoyage plasma traditionnel de forte puissance et onéreux comme les pulvérisateurs à espèces ioniques énergétiques qui vont endommager vos échantillons par échauffement et bombardement d’électrons, le process délicat de la technique PRS « Down Stream » réduit les contaminations hydrocarboneés en cendre prêt à être supprimées de la chambre.

How Nanolab uses Evactron® SoftCleanTM Chamber for specimen cleaning. (148 téléchargements)

Spécifications et avantages

  • Nettoyeur Plasma version laboratoire.
  • Peux aussi être utilisé comme système de stockage de ces échantillons, les préservant dans un environnement propre.
  • Doux, mais efficace pour supprimer les contaminations H/C en utilisant des radicaux de gaz réactifs par attaque chimique, plus performant que les techniques de nettoyage par « pulvérisation d’électron ».
  • Utilisation de l’air comme radical oxygène ou utilisation d’autres gaz pour procédés de plasmas alternatifs.
  • Brides de montage sous vide réf 4 KF 40 at 1 KF 16 avec vanne manuelle d’arrêt pour les ports sous vide. Intérêt pour les grandes chambres MEB où l’on peut démonter l’Evactron sans casser le vide de la chambre.
  • Bride d’adaptation pour la plupart des porte-objets MET des différents fabricants.
  • 1 système de purge et un couvercle en aluminium plaqué avec une fenêtre de vision de 5.5 pouces de diamètre.
  • Large gamme de pression
  • Dimension de la chambre : 216 mm, diamètre : 140 mm, poids : 6 kg.