Evactron® CombiCleanTM System

Système Evactron combiné « CombiClean TM » intégrant un système de nettoyage In-Situ + chambre de nettoyage externe

Le système Evactron « Combiclean » dispose d’une chambre sous vide intégrée pour le nettoyage des échantillons et des accessoires, ainsi qu’une source Plasma (PRS) pour le nettoyage In-Situ de vos équipements E-Beam MEBs, FIBs ou autres équipements analytiques soumis à la contamination carbone.

Il fonctionne sur le même principe de la source plasma (PRS) présenté dans la gamme Evactron In-Situ.

Une simple pression sur un bouton déclenche le processus de nettoyage.

Spécifications et avantages

  • Technologie VentDetectTM avec jauge à vide intégrée qui déclenche le démarrage.
  • Compatible avec les pompes à palettes (sans préoccupation de retour d’huile).
  • Purge au nitrogène sec permettant aux échantillons de rester propres après le nettoyage « plasma ».
  • Mode de stockage permettant de continuer à purger les échantillons au nitrogène sec lorsque la source plasma PRS est en route.
  • Système de gestion des 2 sources PRS.
  • Système embarqué permettant de commuter entre les modes de nettoyage internes et externes par bouton poussoir.
  • Large gamme de pression.
  • Consommation électrique : 90-250 VAC, 50/60 Hz
  • Puissance : puissance RF : 0-25 Watts
  • Dimension physique : 210 mm x 652 mm x 270 mm.

Tableau de spécifications

Plasma « Downstream »

  • Décontamination sans risque des hydrocarbonés sans dommage des matériels sensibles utilisées en microscopie électronique (fenêtres des détecteurs EDX)
  • Décontamination rapide avec une opération de 10 minutes 1 fois/semaine
  • Avéré sûr et efficace par une communauté de 1200 utilisateurs à travers le monde

Compact et intégré

  • Dédié à une solution complète de nettoyage 2 en 1 avec un système Evactron réf 25 intégré et une chambre sous vide
  • Portable pour utilisation sur un parc d’équipements en microscope électronique

Utilisation polyvalente des gaz

  • Fonctionne à air ambiant pour la facilité et la limitation des frais d’utilisation
  • Peut aussi être utilisé avec gaz non corrosifs, permettant la synthèse de gaz chimiques pour échantillons dédiés

Purge à Azote

  • Prévient des remontées d’huile durant le stockage de l’échantillon sous mode stockage sous pression
  • Compatible avec les pompes à palette ou les pompes sèches
  • Permet le stockage dans une chambre nettoyée, prévient l’échantillon d’une recontamination même lorsque la source PRS externe est en fonctionnement

Sources Radical Plasma internes et externes

  • Nettoyage des accessoires, des spécimens et du porte-objet MET avec la source PRS interne
  • Nettoyage des surfaces E-Beam, de vos systèmes d’imagerie MEBs ou FIBs ou autres équipements analytiques en prévention des décontaminations carbone grâce à la source PRS externe
  • Commutation entre nettoyage interne ou externe par simple bouton switch

Manchon d’adaptation TEM multiple

  • 2 ports horizontaux pour nettoyage de porte-échantillons MET (adaptation spécifique optionnelle)
  • Capacité à nettoyer simultanément 2 échantillons MET en évitant une recontamination ou un dommage de l’échantillon

Compartiment supérieur de chargement

  • Placement facile des échantillons MEB avec éléments ajustables en hauteur