Décontaminateur Evactron modèle 25Z Zephyr

Le nettoyeur plasma le plus vendu pour l’imagerie en microscopie électronique

Le Zephyr 25 Z est un équipement compact qui enlève les contaminations carbones et hydrocarbonées au sein de votre MEB, FIB ou autre chambre sous vide. Il utilise la technique de plasma RF pour produire à distance des radicaux en phase gazeuse qui vont se répandre en aval de la chambre sous vide afin d’éliminer les contaminations.

Le modèle 25 Z Zephyr a été développé pour les chambres à vide qui utilise un système de pompage par turbopompe (TMP). Il est conçu pour nettoyer/décontaminer dans la gamme de pression de 1 à 50 mTorr et n’a pas d’effet négatif sur la température de la turbopompe.

Evactron 25Z Zephyr De-Contaminator (195 téléchargements)

Spécifications & avantages

  • Nettoyage des chambres dans la gamme de pression des turbopompes. Pas de stress de la turbopompe
  • Puissance RF 5 à 20 watts d’où une décontamination sécurisée et douce qui n’endommage pas les composants sensibles.
  • Vitesse de nettoyage améliorée dans un rapport 10. Cycles de nettoyage plus courts, permettant une plus grande disponibilité de vos équipements.
  • Facilité d’opération avec un seul bouton On/Off
  • Fonctionne sous une gamme de pression, de 1 à 50 mTorr, augmente le parcours libre des ions sans dommage pour l’équipement.