Plateforme de Nano-probers pour solution MEB

Caractériser et manipuler vos échantillons en temps réel à l’échelle nanométrique In-Situ dans votre MEB durant l’observation.
Haute sensibilité pour mesures électriques intuitives de faibles courants In-Situ.

La plateforme Imina Technologies est une solution unique pour la manipulation et la caractérisation de dispositifs électriques et de nouveaux matériaux à l’échelle manométrique.

La solution intègre nos quatre célèbres nano-robots miBot™, facile à utiliser, polyvalents et fonctionnant avec actuateur piézo-électrique. Ils se positionnent indépendamment autour d’un échantillon avec une gamme de course millimétrique avec une résolution nanométrique.

Plateforme de Nano-senseurs pour solution MEB (84 téléchargements)

Caractérisation électrique des nanostructures

Spécialement conçus pour les mesures de faible courant, les seuils de courants de fuite détectés sont inférieurs à 100fA/V. La caractérisation électrique des nanostructures est effectuée avec des multimètres numériques haute sensibilité via du câblage blindé, ayant un excellent rapport signal-sur-bruit (type Keithley, version faible bruit).

Un kit d’adaptation dédié à chaque type de MEB est fourni avec la plateforme pour une compatibilité avec la quasi-totalité des microscopes, même ceux ayant une petite chambre.
Avec sa forme arrondie et plate de 10 cm de diamètre, le plateau d’adaptation vient se fixer sur la platine de translation du MEB. Le montage et le démontage ne prennent que quelques minutes et ne nécessitent aucune modification permanente de la chambre du microscope.

L’ouverture au centre de la plateforme permet d’y fixer vos supports échantillons MEB standards, vous permettant de travailler comme vous en avez l’habitude.

Avantages
  • Expériences plus rapides. Observation, préparation et caractérisation de vos échantillons en une seule étape.
  • Instruments versatiles et précis. Mesures électriques et manipulations à l’échelle nanométrique.
  • Positionnement de la pointe intuitif. Ajuster instantanément l’orientation de la pointe autour de l’échantillon, quelque soit sa géométrie.
  • Haute stabilité mécanique. Déplacement sans vibration et maintien stable des contacts électriques.
  • Extension des possibilités de votre MEB. Réadaptez votre MEB pour de nouvelles applications, de manière non-permanente.
Applications
    • Mesures de résistivité
    • Mesures électriques I-V/C-V
    • Préparation d’échantillons
    • Manipulation à l’échelle nano
    • Nano-fils

Matériaux étudiés :

  • Feuillets de Graphène
  • Transistor en couche minces
  • Nanotubes de carbone
  • Nano-résonateurs
  • MEMS/NEMS

Spécifications techniques

Plateforme pour solution MEB
Nombre de robots 4 (PN14-4B-V) ou 2 (PN14-2B-V)
Dimensions & poids Hauteur: 37.1 mm *
Diamètre(sans les câbles): 100 mm (4”)
Poids: * Pour une station de 4 Nanorobots avec câblage coaxial. Les dimensions et géométrie peuvent être modifiées à façon suivant l’application du client ou la configuration du MEB.
Taille d’échantillons et support Optimisé pour des échantillons ayant une surface approximative de 80 mm2 (c’est à dire ayant un diamètre circulaire de Ø 25.4 mm (ou 1 inch).
Compatible avec une grande variété de support MEB.
Compatibilité MEB Compatible avec les chambres de la majorité des grands fabricants de MEB, à savoir FEI, Hitachi, JEOL, Tescan, Zeiss…
Interface utilisateur PC portable (Microsoft® Windows) avec logiciel dédié et pad de contrôle.
Nano-prober (miBotTM VP)
Degrés de liberté 4 axes commandables indépendamment (X, Y,R,Z) par Robot
Gamme de déplacement Mode pas à pas (X,Y,R,Z):20 x 20 mm2, ± 180°, 42°
Mode balayage(X,Y,Z): 440 x 250 x 780 nm3
Résolution de positionnement max Mode pas à pas : 50 nm (X, Y), 120 nm (Z)
Mode balayage: 1.5 nm (X, Y), 3.5 nm (Z)
Type de connection 4 connecteurs (CAMAC) ou tri-axial* (BNC)avec ses câblages souples, traverses de chambre et bride d’adaptation.
* avec cablâge triaxial en option
Pointe de mesure Compatible avec une large gamme de pointes (diamètre de 0.51 mm/0.020”) et des rayons variables (5 nm – 10 um).
Caractéristiques Electriques de la pointe
Gamme de tension ± 100 V
Gamme de courant 100 fA* – 100 mA
* avec option câblage triaxial
Bande passante 25 MHz
Resistance approx. 3.5 Ω
De la pointe de mesure à la bride du connecteur
Conditions d’operation
Pression Min 10-7 mbar
Gamme de température 0 à 80 °C
Options
Cablâge et connecteurs Triaxial